名词解释题
狭缝扫描流式细胞仪
发布日期：2020-08-20
试题解析
光电分光光度计
光电分光光度计的定义photoelectric spectrophotometer用光电倍增管作辐射探测器测量同时记录天体辐射分光强度的一种仪器。在摄谱仪照相机焦平面处，安置宽度可调的出射狭缝。光线通过狭缝，由光电倍增管接收。出射狭缝和光电倍增管（连同前置放大器、屏蔽壳、致冷装置）构成的光电头，同光谱之间可作相对的扫描运动
- 中文名
- 光电分光光度计
- 用途
- 测量信号
- 外文名
- photoelectric spectrophotometer
- 光电头结构
- 放大器、屏蔽壳、致冷装置
投影式光刻机
投影式光刻机一般采用步进-扫描式曝光方法。光源并不是一次把整个掩模上的图形投影在晶圆上，曝光系统通过一个狭缝式曝光带（slit）照射在掩模上，如图1（a）所示。载有掩模的工件台在狭缝下沿着一个方向移动，等价于曝光系统对掩模做了扫描，如图1（b）所示。与掩模的扫描同步，晶圆沿相反的方向以1/4的速度移动。现代光刻机中，掩模扫描的速度可以高达2400mm/s，对应的晶圆移动速度是600mm/s。较高的扫描速度可以缩短曝光时间，从而提高光刻机的产能。
- 中文名
- 投影式光刻机
- 外文名
- Projection Photoetching Machines
狭缝
狭缝是指光谱仪的主要部件之一。狭缝是一条宽度可调、狭窄细长的缝孔。有固定狭缝，单边可调的非对称式狭缝和双边可调的对称狭缝。
- 中文名
- 狭缝
- 定义
- 光谱仪
- 外文名
- slit
- 最大宽度
- 为2mm
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