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词条
018um
从0.35um->0.25um->0.18um->0.15um->0.13um的technology改变又代表的是什么意义?
解释说明自对准栅工艺流程,为什么当图形化尺寸小到0.18um时,使用钴硅化物取代钛硅化物?为什么当图形化尺寸小到65nm时,使用镍硅化物取代钴硅化物?
半导体或芯片的0.25um、0.18um、90nm、65nm工艺指的是什么?