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名词解释题

缺陷

发布日期:2020-12-11

缺陷

试题解析

掩模基板缺陷

掩模基板缺陷主要是掩模上存在的各种缺陷,大多数缺陷是外来颗粒(particles)。

中文名
掩模基板缺陷
外文名
mask blank defect

光刻缺陷

光刻缺陷是在整个光刻工艺中引入的各种缺陷,典型缺陷包括点缺陷、疵病缺陷、机械损伤等。

中文名
光刻缺陷
外文名
defect

缺陷等级

缺陷等级缺陷等级一般分为四种,表示缺陷的程度。

中文名
缺陷等级
含义
表示缺陷的程度

标签: 缺陷

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