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名词解释题

杂散光

发布日期:2020-04-13

杂散光

试题解析

极紫外成像模型

极紫外成像模型应该包括掩模三维效应模型、曝光缝隙位置效应、像差、光刻胶模型、杂散光模型等。

中文名
极紫外成像模型

极紫外杂散光

在极紫外光刻中,反射镜表面粗糙度引起的散射光被称为极紫外杂散光。

中文名
极紫外杂散光
外文名
EUV flare

杂散光

杂散光,英文名是stray light,含义是指远离吸收光的其它波长的入射光。

中文名
杂散光
原因
灰尘沾污光学元件
外文名
stray light
释义
一般指超出

标签: 散光

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