灵敏度余量表示仪器与探头组合的综合性能。

灵敏度（Sensitivity）是指某方法对单位浓度或单位量待测物质变化所致的响应量变化程度，它可以用仪器的响应量或其他指示量与对应的待测物质的浓度或量之比来描述。灵敏度指示器的相对于被测量变化的位移率，灵敏度是衡量物理仪器的一个标志，特别是电学仪器注重仪器灵敏度的提高。通过灵敏度的研究可加深对仪表的构造和原理的理解。

探头即传感器的再封装形式，是把传感器的最基本单元，通过合理的电子电路与外部封装结构，对传感器进行封装，使它具有我们所需的一些独立功能的部件，他和传感器一样，通常根据其基本感知功能分为热敏探头、光敏探头、气敏探头、力敏探头、磁敏探头、湿敏探头、声敏探头、放射线敏感探头、色敏探头和味敏探头、视频探头等几大类。有谐振式传感器、宽带传感器、防水型传感器、高温传感器、低温传感器等其他特殊功能型的传感器。探头在电涡流传感器系统中发挥重要的作用。未能做好探头的安装，以至于探头距离金属体过近或导电体面积过小，将导致涡流的形成受到影响。因此在实际检修作业时，还应加强机组保护仪表探头的安装与维护，以确保机组的运行能够得到有效监控。

仪器，指科学技术上用于实验、计量、观测、检验、绘图等的器具或装置。通常是为某一特定用途所准备的一套装置或机器。仪器通常用于科学研究或技术测量、工业自动化过程控制、生产等用途，一般来说专用于一个目的的设备或装置。仪器构造较为复杂，属于高新技术产品，由多个部件组成的。仪器体积、重量、形状有各种各样，最小的可以直接拿在手中操作，较大体积的仪器一般被称为装置或设备。