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平面工艺
常规平面工艺扩散工序中的恒定表面源扩散过程中,杂质在体内满足()函数分布。常规平面工艺扩散工序中的有限表面源扩散过程中,杂质在体内满足()函数分布。
硅平面工艺中高温氧化生成的非本征无定性二氧化硅对()、()、砷(As)、锑(Sb)等元素具有()作用。