化学机械抛光(CMP)带来的一个显著的质量问题是表面微擦痕。小而难以发现的微擦痕导致淀积的金属中存在隐藏区,可能引起同一层金属之间的断路。
在一个氟里昂134a的大容器沸腾试验台中,以直径为12mm、机械抛光的不锈钢管作为加热表面,其内为水蒸气凝结放热。在一次试验中,氟里昂134a的沸腾温度为30℃,加热表面温度为35℃。试确定此时氟里昂134a的沸腾换热状态及沸腾换热表面传热系数。若换热段长15cm,水蒸气压力为0.07375x10 5Pa,问所需的水蒸气量力多少?ρ v=37.76kg/m 3。
什么是化学机械抛光?
一直径为3.5mm、长100mm的机械抛光的薄壁不锈钢管,被置于压力为1.013X10 5Pa的水容器中,水温已接近饱和温度。对该不锈钢管两端通电以作为加热表面。试计算当加热功率为1.9W及100W时,水与钢管表面间的表面传热系数值。
机械抛光用磨料及其化学成份有那些?
化学机械抛光(CMP)是将游离磨料的()作用和氧化剂的()作用有机结合,实现超精磨无损伤表面加工,因而也是一种复合加工方法。
机械抛光的原理是什么?