解释说明自对准栅工艺流程,为什么当图形化尺寸小到0.18um时,使用钴硅化物取代钛硅化物?为什么当图形化尺寸小到65nm时,使用镍硅化物取代钴硅化物?
水样中含砷化物、硅化物和硫化物的量分别为元素磷含量的()倍、()倍。()时,我钼蓝色法测定元素磷无明显干扰。
简述什么是硅化物及其作用。
什么是硅化物?难熔金属硅化物在硅片制造业中重要的原因是什么?
水样中含砷化物、硅化物和硫化物的量分别为元素磷含量的()倍、()倍、()倍时,对磷钼蓝比色法测定元素磷无明显干扰。
硅化物(salicide)的形成步骤主要可分为哪些?
何谓硅化物( salicide)?