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问答题
发布日期:2020-12-11
标签: 简述 刻蚀
答案解析
正确答案: 1) 图形转换的保真度高 指掩膜板上的图形不失真地转移到硅片表面 2) 选择比 刻蚀过程中,被刻蚀材料层与其他材料层的刻蚀速率之比 3) 均匀性 腐蚀速率的一致性(整个硅片表面、硅片与硅片之间) 4) 刻蚀的清洁 刻蚀之后,硅片表面所残留的刻蚀产物需完全清除
解析: 暂无解析
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