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问答题
发布日期:2020-12-11
设计规则考虑器件在正常工作的条件下,根据实际工艺水平(包括光刻持性刻蚀能力、对准容差等)和成品率要求,给出的一组同一工艺层及不同工艺层之间几何尺寸的限制。主要包括线宽、间距、覆盖露头、凹口、面积等规则,分别给出它们的最小值,以防止掩模图形的断裂、连接和一些不良物理效应的出现。
提供,拼音是 tí gōng,汉语词语,意思是供给。
标签: 设计 则是 由谁 提供
答案解析
正确答案: 设计规则由生产厂家提供
解析: 暂无解析
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