单选题
压阻式压力传感器中的硅膜片通常是（）。
发布日期：2021-03-22
单晶硅
多晶硅
非晶硅
硅蓝宝石
试题解析
压阻式压力传感器
压阻式压力传感器是利用单晶硅的压阻效应而构成。采用单晶硅片为弹性元件，在单晶硅膜片上利用集成电路的工艺，在单晶硅的特定方向扩散一组等值电阻，并将电阻接成桥路，单晶硅片置于传感器腔内。当压力发生变化时，单晶硅产生应变，使直接扩散在上面的应变电阻产生与被测压力成正比的变化，再由桥式电路获相应的电压输出信号。
- 中文名
- 压阻式压力传感器
- 又称
- 扩散硅压力传感器
- 核心部分
- N型的圆形硅膜片
- 外文名
- Piezoresistive pressure sensor
- 类型
- 压力式传感器的一种
- 应用
- 航天、航空、航海、石油化工
膜片
膜片按行业分：有电声行业膜片；机械行业橡胶膜片；过滤隔离行业微孔膜片；光学行业膜片。
- 中文名
- 膜片
- 应用领域
- 机械行业
- 外文名
- diaphragm
- 基本释义
- 圆形膜状的
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