问答题
简述CVD技术的热动力学原理——热力学
发布日期：2020-12-11
试题解析
化学气相淀积
化学气相淀积指把含有构成薄膜元素的气态反应剂或液态反应剂的蒸气及反应所需其它气体引入反应室，在衬底表面发生化学反应生成薄膜的过程。在超大规模集成电路中很多薄膜都是采用CVD方法制备。
- 中文名
- 化学气相淀积
- 原料
- 气态反应剂或液态反应剂的蒸气
- 特点
- 淀积温度低，薄膜成份易控
- 外文名
- Chemical Vapor Deposition
- 应用
- 无机新材料制备
- 简称
- CVD技术
热力学
热力学（thermodynamics）是从宏观角度研究物质的热运动性质及其规律的学科。属于物理学的分支，它与统计物理学分别构成了热学理论的宏观和微观两个方面。热力学主要是从能量转化的观点来研究物质的热性质 ，它揭示了能量从一种形式转换为另一种形式时遵从的宏观规律，总结了物质的宏观现象而得到的热学理论。热力学并不追究由大量微观粒子组成的物质的微观结构，而只关心系统在整体上表现出来的热现象及其变化发展所必须遵循的基本规律。它满足于用少数几个能直接感受和可观测的宏观状态量诸如温度、压强、体积、浓度等描述和确定系统所处的状态。通过对实践中热现象的大量观测和实验发现，宏观状态量之间是有联系的，它们的变化是互相制约的。制约关系除与物质的性质有关外，还必须遵循一些对任何物质都适用的基本的热学规律，如热力学第零定律、热力学第一定律、热力学第二定律和热力学第三定律 等。热力学以上列从实验观测得到的基本定律为
- 中文名
- 热力学
- 全称
- 热动力学
- 学科性质
- 物理学的分支
- 外文名
- thermodynamics
- 研究内容
- 宏观物质的热运动性质及其规律
- 特征
- 遵循热力学定律
动力学
动力学(Dynamics)是理论力学的一个分支学科，它主要研究作用于物体的力与物体运动的关系。动力学的研究对象是运动速度远小于光速的宏观物体。动力学是物理学和天文学的基础，也是许多工程学科的基础。许多数学上的进展也常与解决动力学问题有关，所以数学家对动力学有着浓厚的兴趣。
- 中文名
- 动力学
- 所属
- 理论力学
- 研究对象
- 运动速度
- 主要作用
- 为
- 外文名
- Dynamics
- 主要研究
- 作用于物体的力与物体运动的关系
- 基础定律
- 艾萨克·牛顿
- 主要涉及
- 物理,力学,物理学,理论力学
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