问答题
假设某项化学气相淀积工艺受反应速率控制，在700 ℃和800 ℃时的淀积速率分别为500Å/min和2000Å/min，请计算在900℃下的淀积速率是多少？实际测量发现900℃下淀积速率远低于计算值，说明什么？怎样证明？（化学气相淀积的反应速率常数 
）
发布日期：2020-12-11
试题解析
化学气相淀积
化学气相淀积指把含有构成薄膜元素的气态反应剂或液态反应剂的蒸气及反应所需其它气体引入反应室，在衬底表面发生化学反应生成薄膜的过程。在超大规模集成电路中很多薄膜都是采用CVD方法制备。
- 中文名
- 化学气相淀积
- 原料
- 气态反应剂或液态反应剂的蒸气
- 特点
- 淀积温度低，薄膜成份易控
- 外文名
- Chemical Vapor Deposition
- 应用
- 无机新材料制备
- 简称
- CVD技术
速率控制
速率控制（rate control）是2018年公布的计算机科学技术名词。
- 中文名
- 速率控制
- 所属学科
- 计算机科学技术
- 外文名
- rate control
- 公布时间
- 2018年
工艺
工艺（ technology、craft）是指劳动者利用各类生产工具对各种原材料、半成品进行加工或处理，最终使之成为成品的方法与过程。制定工艺的原则是：技术上的先进和经济上的合理。由于不同的工厂的设备生产能力、精度以及工人熟练程度等因素都大不相同，所以对于同一种产品而言，不同的工厂制定的工艺可能是不同的；甚至同一个工厂在不同的时期做的工艺也可能不同。可见，就某一产品而言，工艺并不是唯一的，而且没有好坏之分。这种不确定性和不唯一性，和现代工业的其他元素有较大的不同。内画、玉雕等都是是中国特有的一种工艺形式。
- 中文名
- 工艺
- 地位
- 物质文明
- 工艺设计
- 产品方案，原料、燃料
- 外文名
- technology
- 种类
- 基本工艺 改性工艺 后期处理
- 意义
- 将材料加工成成品
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