问答题
简述化学气相淀积的原理？
发布日期：2020-12-11
试题解析
化学气相淀积
化学气相淀积指把含有构成薄膜元素的气态反应剂或液态反应剂的蒸气及反应所需其它气体引入反应室，在衬底表面发生化学反应生成薄膜的过程。在超大规模集成电路中很多薄膜都是采用CVD方法制备。
- 中文名
- 化学气相淀积
- 原料
- 气态反应剂或液态反应剂的蒸气
- 特点
- 淀积温度低，薄膜成份易控
- 外文名
- Chemical Vapor Deposition
- 应用
- 无机新材料制备
- 简称
- CVD技术
简述
简述是一个汉语词汇，意思是用简要的语言陈述，描述或总结。
原理
原理，现任哈尔滨市南岗区审计局二级调研员。
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