名词解释题
层错
发布日期：2020-12-11
试题解析
抽出型层错
一种层错现象。
- 中文名
- 抽出型层错
- 所属类型
- 微观术语
- 相关领域
- 冶金工程
氧化层错
氧化层错，晶片表面存在机械损伤、杂质沾污和微缺陷等时，在热氧化过程中，其近表面层长大或转化的层错。
层错
层错常常发生在外延生长的硅单晶体上，当硅单晶片经过900~1200℃热氧化过程后，经常可发现表面出现层错。这些由氧化过程引起的层错，称之为OISF。因为每个层错都结合着部分位错，所以层错对硅单晶片的电性质影响与位错相似。
- 中文名
- 层错
- 学科
- 材料工程
- 发生于
- 外延生长的硅单晶体上
- 外文名
- fault
- 领域
- 工程技术
- 温度
- 900~1200℃
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