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单选题

在微电子机械系统(MEMS)中,材料以()为主。

发布日期:2020-12-11

在微电子机械系统(MEMS)中,材料以()为主。
A

B

C

D

试题解析

微机械

微机械是指利用半导体技术(特别是平板印制术,蚀刻技术)设计和制造微米领域的三维力学系统,以及微米尺度的力学元件的技术。它开辟了制造集成到硅片上的微米传感器和微米电机的崭新可能性。

中文名
微机械
全称
微电子机械系统
应用
集成电路
外文名
MEMS
技术基础
微电子技术和微加工技术
学科
电子工程

材料

材料,是腾讯游戏《地下城与勇士》中的奖励。

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