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名词解释题

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溅射

发布日期：2020-12-11

溅射

试题解析

消气剂溅射

消气剂溅射是真空度为13Pa，溅射镀膜密度为高的意思。

中文名
消气剂溅射
解释
气体发生自激放电
真空度
13Pa
溅射镀膜密度
高

溅射产额

溅射产额，在溅射过程中，入射一个高能荷电粒子所溅射出的靶材原子个数。可用来衡量溅射速度。

中文名
溅射产额
定义
在溅射过程中，入射一个高能荷电粒子所溅射出的靶材原子个数

溅射

溅射（sputtering）是PVD薄膜制备技术的一种，主要分为四大类：直流溅射、交流溅射、反应溅射和磁控溅射。

中文名
溅射
分类
直流溅射

标签： 溅射

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溅射

溅射

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常用的溅射镀膜方法有直流溅射、射频溅射、磁控溅射，其中磁控溅射的气压最低、靶电流密度最高。

根据引起气体放电的机理不同，可形成不同的溅射镀膜方法，主要有（）溅射、（）溅射、反应溅射、磁控溅射等方法。

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简述蒸镀与溅射的区别