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问答题
发布日期:2020-12-11
标签: 025 干法刻蚀 高密度 等离子体
答案解析
正确答案: 传统的RIE系统等离子体离化率最大0.1%,因而需要较多的气体以产生足够的粒子。较高的气压使得粒子碰撞频繁,反应粒子很难进入小尺寸高深宽比图形,反应产物也很难排出。高密度等离子体的离化率达到10%,用于0.25微米以下的工艺。
解析: 暂无解析
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