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问答题
发布日期:2020-12-11
标签: 简述 溅射 优缺点
答案解析
正确答案: 优点:①台阶覆盖能力好;②能沉积金属合金;③能进行原位溅射刻蚀。 缺点:溅射速率低,金属膜含氩。
解析: 暂无解析
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