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硅栅
侧墙用来环绕多晶硅栅,防止更大剂量的源漏注入过于接近沟道以致可能发生源漏穿通。
什么是硅栅自对准?
简述硅栅p阱CMOS的光刻步骤?
简述硅栅p阱CMOS的光刻步骤。
多晶硅栅的宽度通常是整个硅片上最关键的CD线宽。
硅栅工艺有哪些优点?
简述硅栅CMOS工艺版图和工艺的关系。
沉积多晶硅栅材料采用什么CVD工具,列举多晶硅作为栅电极的6个原因。
制作硅栅具体步骤是什么?