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离子注入机
简述离子注入机的各部分工作原理?
离子注入机的主要部件以及它们的主要任务分别是什么?
离子注入机的对Si衬底作P型掺杂的源气常用(),N型掺杂的源气常用()和()。对GaAs做N型掺杂的源气常用()