正确答案:
离子注入机主要由离子源、分析磁体、加速聚焦器、扫描偏转系统、靶室及终端台和真空系统6大部分组成。
1)离子源的目的是把要注入的杂质原子电离成为离子,形成注入离子束,并具有一定动能(速度)的正离子束。
2)磁分析器 就是根据不同离子其运动半径不同的原理,将不同的离子一一分离开来。
3)加速聚焦器: 离子源的吸极最高负压一般不能达到注入离子能量的要求,如果需要
更高的能量就必须再添加高压进行第二次的加速,完成此功能的就是后加速器。
4)扫描偏转系统: 要使整个硅片表面都能均匀地注入离子,需要束流对硅片进行扫描,对靶片进行大面积离子注入,使整个靶片得到均匀的杂质离子分布。
5)靶室及终端台:让离子束流能注入进去 监测注入的离子数量。
6)真空系统:一般用真空泵和闭合的抽气系统来实现。
解析:
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