问答题
什么是沟道效应？如何才能避免？
发布日期：2020-12-11
试题解析
沟道效应
离子注入固体中，它与固体的原子发生碰撞，如果固体是无定形的，那么，组成固体的原子在空间是无规则分布的，因而离子与靶原子的碰撞是随机的，碰撞参数P的大小是个随机参数。如果固体是晶体，则原子在空间规则地排列着，离子沿晶体的主晶轴方向注入时，它们可能与晶格原子发生相类似的碰撞（碰撞参数P近似相等），各个碰撞互相有关，每次碰撞时，离子运动偏转很小，离子经过晶格同一排原子附近，可以穿透入固体中较深的距离，这种现象称为沟道现象
- 中文名
- 沟道效应
- 含义
- 离子注入固体可穿透入固体较深
- 外文名
- channeling effect
- 应用
- 离子束注入
标签： 沟道效应
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