问答题
什么是离子注入时的沟道效应？列举出三种控制沟道效应的方法？
发布日期：2020-12-11
试题解析
沟道效应
离子注入固体中，它与固体的原子发生碰撞，如果固体是无定形的，那么，组成固体的原子在空间是无规则分布的，因而离子与靶原子的碰撞是随机的，碰撞参数P的大小是个随机参数。如果固体是晶体，则原子在空间规则地排列着，离子沿晶体的主晶轴方向注入时，它们可能与晶格原子发生相类似的碰撞（碰撞参数P近似相等），各个碰撞互相有关，每次碰撞时，离子运动偏转很小，离子经过晶格同一排原子附近，可以穿透入固体中较深的距离，这种现象称为沟道现象
- 中文名
- 沟道效应
- 含义
- 离子注入固体可穿透入固体较深
- 外文名
- channeling effect
- 应用
- 离子束注入
离子注入
离子注入是指当真空中有一束离子束射向一块固体材料时，离子束把固体材料的原子或分子撞出固体材料表面，这个现象叫做溅射；而当离子束射到固体材料时，从固体材料表面弹了回来，或者穿出固体材料而去，这些现象叫做散射；另外有一种现象是，离子束射到固体材料以后，受到固体材料的抵抗而速度慢慢减低下来，并最终停留在固体材料中的这一现象叫作离子注入。
- 中文名
- 离子注入
- 性质
- 高新技术
- 外文名
- Ion implantation
- 主要现象
- 溅射、散射
三种
三种，读音为sān zhǒng，汉语词语，意为指黍、稷、稻。
- 中文名
- 三种
- 注音
- ㄙㄢ ㄓㄨㄙˇ
- 拼音
- sān zhǒng
- 出处
- 《周礼·夏官·职方氏》
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