问答题

什么是等离子刻蚀？

发布日期：2020-12-11

试题解析

高密度等离子刻蚀机

高密度等离子刻蚀机是一种用于材料科学领域的分析仪器，于2014年10月1日启用。

中文名: 高密度等离子刻蚀机
学科领域: 材料科学
所属类别: 分析仪器 > 样品前处理及制备仪器

产地: 中国
启用日期: 2014年10月1日

等离子刻蚀沉积台

等离子刻蚀沉积台是一种用于电子与通信技术领域的工艺试验仪器，于2016年3月1日启用。

中文名: 等离子刻蚀沉积台
学科领域: 电子与通信技术
所属类别: 工艺试验仪器 > 电子工艺实验设备 > 半导体集成电路工艺实验设备

产地: 中国
启用日期: 2016年3月1日

等离子刻蚀速率

等离子刻蚀速率是指等离子刻蚀过程去除芯片表面不需要材料的速度，刻蚀速率正比于蚀剂浓度，与芯片表面形状等因素有关。

中文名: 等离子刻蚀速率

影响因素: 表面形状

标签：等离子刻蚀

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