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问答题

什么样的光刻设备对应的过程是怎样的?

发布日期:2020-12-11

什么样的光刻设备对应的过程是怎样的?

试题解析

光刻

光刻是平面型晶体管和集成电路生产中的一个主要工艺。是对半导体晶片表面的掩蔽物(如二氧化硅)进行开孔,以便进行杂质的定域扩散的一种加工技术。

中文名
光刻
又称
microlithography
外文名
Photomasking, masking, photolithography; lithography

过程

过程,汉语词语,拼音是guò chéng,指事情进行或事物发展所经过的程序;在质量管理学中“过程”定义为:利用输入实现预期结果的相互关联或相互影响的一组活动。

中文名
过程
定义
事物发展所经过的程序
拼音
guò chéng
类别
汉语词语
外文名
process
近义词
经过
注音
ㄍㄨㄛˋ ㄔㄥˊ

设备

针对带电作业,通过专门的设计或改进、试验及保养,能完成某一具体任务的工具和(或)装置的组件。示例:架线设备,便携式接地和短路设备,带电清洗设备等。

中文名
设备
所属学科
电力系统
外文名
equipment

标签: 光刻 设备 过程

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