问答题
异质外延对衬底和外延层有什么要求？
发布日期：2020-12-11
试题解析
异质外延
异质外延是一个物理学名词。外延生长的薄膜材料和衬底材料不同，或者说生长化学组分、甚至是物理结构和衬底完全不同的外延层，相应的工艺就叫做异质外延；这类工艺复杂、成本较低。
- 中文名
- 异质外延法
- 外文名
- heteroepitaxy
外延层
所谓外延层是指在集成电路制造工艺中，生长沉积在晶圆衬底上的那一部分。
- 中文名
- 外延层
- 外文名
- Epitaxial layer
衬底
衬底，分为绘图衬底，和化工学衬底两种。绘图衬底指的是将图片或文字充满整个版面使其为底纹。化工学衬底最常见的为氮化物衬底材料等。
- 中文名
- 衬底
- 材料
- 蓝宝石、硅、碳化硅
- 分类
- 绘图衬底、化工学衬底
- 其他材料
- GaAS、AlN、ZnO
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异质外延
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